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| 真空阴极弧离子镀的发展及应用 | |
| 作者姓名： | 樊勇 |
| 作者单位： | 上海汽车集团股份有限公司,乘用车分公司,制造工程部,上海,201804 |
| 摘 要： | 叙述了真空阴极弧离子镀技术的原理,种类,宏观颗粒的产生以及磁过滤器的应用.重点分析了系统效率,等离子体传输影响因素和真空阴极电孤离子镀技术在薄膜研究和制造中的应用. |
| 关 键 词： | 真空阴极弧离子镀 磁过滤器 系统效率 等离子体传输 真空阴极弧离子镀 制造 研究 薄膜 电孤 影响因素 传输 等离子体 系统效率 分析 重点 应用 磁过滤器 宏观颗粒 种类 原理 叙述 |
| 修稿时间： | 2007-11-30 |
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