| 一种无检测质量的微机械热加速度计 |
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| 引用本文： | 马宝国,陈友清. 一种无检测质量的微机械热加速度计[J]. 战术导弹技术, 2006, 0(1): 106-109 |
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| 作者姓名： | 马宝国 陈友清 |
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| 作者单位： | 马宝国（北京自动化控制设备研究所,中国,北京,100074）;陈友清（航天科工集团068基地7801研究所,湖南,长沙,410205） |
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| 摘 要： | 微硅机械技术用于制造一种热加速度计,这种敏感器不需要任何固态的检测质量,且生产成本较低.一个加热的电阻器产生了对称的温度曲线,两个温度探测器置于电阻的两边;当受到加速度的时候,温度曲线变成了非对称,这两个探测器测量这种差分温度.用电子束蒸发的方法将铂(Pt)电阻沉积在SiNx薄膜上,用做加热器和温度敏感器.本文根据加热器-探测器的距离、电源功率和室温,给出了温度曲线的测量和灵敏度.结果表明:灵敏度正比于加热的功率,但当室温增加时,灵敏度则降低.同时,也给出了在倾斜仪和离心机中应用的实验结果.当施加一正弦加速度时,测量到20Hz的3dB带宽,并得到相等的加速度噪声为0.3mg(RMS).
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| 关 键 词： | 热敏感器 加速度计 倾斜测量 |
Micromachined Thermal Accelerometer |
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