微细掩膜电解加工的孤岛有限元仿真研究

在微细掩膜电解加工初期,被加工表面会形成孤岛结构,不利于加工出形状、精度良好的浅表面微结构,故减小电解加工过程中的孤岛结构很有必要。采用有限元方法建立了微细掩膜电解加工的数学模型,并利用该模型分析掩膜厚度和加工间隙对孤岛变化的影响,进而推论出电解加工开始时,被加工面上不均匀的电流密度分布是形成孤岛的原因。通过增加被加工表面的电流密度的均匀性,可提高浅表面微结构的加工质量。