| 化合物半导体材料碲镉汞表面平坦化方法研究 |
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| 引用本文： | 李春领,何铁生,侯晓敏,秦艳红,王春红.化合物半导体材料碲镉汞表面平坦化方法研究[J].激光与红外,2012,42(7):778-780. |
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| 作者姓名： | 李春领 何铁生 侯晓敏 秦艳红 王春红 |
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| 作者单位： | 1. 华北光电技术研究所,北京,100015
2. 73061部队,江苏徐州,221008 |
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| 摘 要： | 研究了一种去除碲镉汞液相外延(LPE)薄膜材料表面波纹的方法。器件结果显示,利用该方法可以有效去除碲镉汞薄膜材料表面的波纹,获得较好的平坦化表面,提高了大面积红外焦平面器件芯片工艺和互连效果。
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| 关 键 词： | 碲镉汞 表面平坦化 红外焦平面 |
Surface-flattening method research of compound semiconductor HgCdTe material |
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| LI Chun-ling,HE Tie-sheng,HOU Xiao-min,QIN Yan-hong,WANG Chun-hong.Surface-flattening method research of compound semiconductor HgCdTe material[J].Laser & Infrared,2012,42(7):778-780. |
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| Authors: | LI Chun-ling HE Tie-sheng HOU Xiao-min QIN Yan-hong WANG Chun-hong |
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| Affiliation: | 1(1.North China Research Institute of Electro-optics,Beijing 100015,China;2.Unit 73061,PLA.Xuzhou 221008,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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