TiO2薄膜氧敏特性研究

金属氧化物随氧分压不同而发迹其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器，传统的传器大多是体材料或厚膜材料，工作时需加高温。文中描述的是ＴｉＯ２薄膜材料与Ｐｔ薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而发迹的氧敏现象，测定了该肖特基有管的氧敏２，并讨论了其敏感机理。