| 一种基于MZI的聚合物光波导加速度计 |
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| 引用本文： | 万峰华,胡威,张彤. 一种基于MZI的聚合物光波导加速度计[J]. 电子器件, 2017, 40(3) |
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| 作者姓名： | 万峰华 胡威 张彤 |
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| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于马赫增德尔干涉仪（MZI）的聚合物光学波导加速度计。理论推导了MZI结构的传输函数，仿真分析了悬臂梁结构参数与器件灵敏度的关系，制备和测试了基于聚合物材料和柔性衬底的加速度传感芯片。制备得到了4 μm×4 μm单模传输芯层波导的传感芯片。搭建了集成光学加速度测试系统，采用比较校准法对探测器输出电压信号进行标定，实现了传感芯片因施加加速度后输出光强变化的测试，完成了加速度测量。该加速度传感芯片分辨率为10-2 g，动态范围为±2 g。
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| 关 键 词： | 光学传感器；加速度；MZI；聚合物材料 |
A polymer optical waveguide accelerometer based on MZI |
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| Keywords: | Optical sensors Acceleration MZI Polymer material |
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