| 提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究 |
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| 引用本文： | 柯才军,易新建,赖建军.提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究[J].红外与激光工程,2004,33(2):209-212. |
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| 作者姓名： | 柯才军 易新建 赖建军 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,光电系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,图像处理与智能控制国家重点实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家863高技术发展计划资助项目(41321030204) |
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| 摘 要： | 为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺.测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子.
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| 关 键 词： | 微透镜阵列 填充因子 CCD 反应离子刻蚀 |
| 文章编号： | 1007-2276(2004)02-0209-04 |
| 收稿时间： | 2003/6/2 |
| 修稿时间： | 2003年6月2日 |
Research on microlens array for improving the fill factor of CCD image sensors |
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| KE Cai-jun,YI Xin-jian,LAI Jian-jun.Research on microlens array for improving the fill factor of CCD image sensors[J].Infrared and Laser Engineering,2004,33(2):209-212. |
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| Authors: | KE Cai-jun YI Xin-jian LAI Jian-jun |
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| Affiliation: | KE Cai-jun~1,YI Xin-jian~2,LAI Jian-jun~1 |
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| Abstract: | To improve the detecting sensitivity of CCD image sensors,the design method and the fabrication technology of 516×516 element microlens array on fused silica substrate are introduced briefly. The test data indicate that the microlens array has perfect surface profile,good uniformity and optical performance. Consequently the fill factors of microlens array increase greatly. |
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| Keywords: | Microlens array Fill factor CCD Reactive ion etching |
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