| 大行程纳米级步距压电电动机 |
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| 引用本文： | 赵美蓉,温丽梅,林玉池,张玉祥.大行程纳米级步距压电电动机[J].机械工程学报,2004,40(8):119-122. |
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| 作者姓名： | 赵美蓉 温丽梅 林玉池 张玉祥 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50105016)。 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机。在结构设计方面,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用新颖的推-拉接力运动原理,配以适当的四路驱动信号,实现了压电电动机的连续匀速运动。通过试验对电动机的性能进行了测试,结果表明:电动机的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为300 V时可达12μm/s,最小步距小于6nm,行程大于10mm。
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| 关 键 词： | 压电电动机 尺蠖运动 纳米驱动 纳米定位 |
| 修稿时间： | 2003年8月13日 |
PIEZOELECTRIC MOTOR WITH LONG-RANGE AND NANO-STEP |
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| Zhao Meirong Wen Limei Lin Yuchi,Zhang Yuxiang.PIEZOELECTRIC MOTOR WITH LONG-RANGE AND NANO-STEP[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2004,40(8):119-122. |
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| Authors: | Zhao Meirong Wen Limei Lin Yuchi Zhang Yuxiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Piezoelectric motor Inchworm motion Nano-driving Nano-positioning |
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