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硅微弹簧-滑块摩擦力测试结构静力学分析
引用本文:王建贵,沈雪瑾,陈晓阳. 硅微弹簧-滑块摩擦力测试结构静力学分析[J]. 机电一体化, 2002, 8(2): 17-20
作者姓名:王建贵  沈雪瑾  陈晓阳
作者单位:上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072
基金项目:国家自然科学基金资助项目(No. 59875055)
摘    要:为了研究微机械摩擦问题,设计了一组硅微弹簧摩擦力测试结构,并对其进行了静力学分析,导出系统弹性系数的计算方法,分析了强度及应力分布特点。对比ANSYS仿真结果,分析了两种分析方法的差异原因,得出微结构中拉簧测试微结构力学性能影响最大,弯簧根部应力最大,而拉簧直角拐弯处应力最大。

关 键 词:硅微弹簧 滑块摩擦力 测试 结构静力学 微机械 弯簧 微滑块 拉簧 NASYS 仿真

The Static Problem Analysis in Micro-silicon Structure of Spring-shattle Friction Measurement
Abstract:
Keywords:
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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