硅微弹簧-滑块摩擦力测试结构静力学分析 |
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引用本文: | 王建贵,沈雪瑾,陈晓阳. 硅微弹簧-滑块摩擦力测试结构静力学分析[J]. 机电一体化, 2002, 8(2): 17-20 |
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作者姓名: | 王建贵 沈雪瑾 陈晓阳 |
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作者单位: | 上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(No. 59875055) |
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摘 要: | 为了研究微机械摩擦问题,设计了一组硅微弹簧摩擦力测试结构,并对其进行了静力学分析,导出系统弹性系数的计算方法,分析了强度及应力分布特点。对比ANSYS仿真结果,分析了两种分析方法的差异原因,得出微结构中拉簧测试微结构力学性能影响最大,弯簧根部应力最大,而拉簧直角拐弯处应力最大。
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关 键 词: | 硅微弹簧 滑块摩擦力 测试 结构静力学 微机械 弯簧 微滑块 拉簧 NASYS 仿真 |
The Static Problem Analysis in Micro-silicon Structure of Spring-shattle Friction Measurement |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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