| MEMS工艺微热管传热性能的定量分析 |
| |
| 引用本文： | 谢晓强,戴旭涵,赵小林,丁桂甫,蔡炳初.MEMS工艺微热管传热性能的定量分析[J].电子机械工程,2005,21(5):15-18. |
| |
| 作者姓名： | 谢晓强 戴旭涵 赵小林 丁桂甫 蔡炳初 |
| |
| 作者单位： | 薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学微科学技术研究院,上海,200030 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;教育部科学技术研究项目 |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种基于硅体加工技术以及阳极键合技术的微热管阵列.通过两种传热模型对微热管的性能进行了分析.利用传统热管理论及经典传热理论对传热性能进行定量计算,将传热过程逐步分解并建立传热模型,对热管热阻进行估算.这种较简易的分析模型可为热管设计提供初步的参考结果.再利用有限元法以同样的参数来模拟热管传热过程以得到更加精确的热阻及热场分布结果,采用Ansys软件来进行有限元的分析.
|
| 关 键 词： | 硅微热管 传热性能 热阻 |
| 文章编号： | 1008-5300(2005)05-0015-04 |
| 收稿时间： | 2004-11-26 |
| 修稿时间： | 2004年11月26 |
Quantitative Analysis of Thermal Performance of Micro Heat Pipe Based on MEMS |
| |
| XIE Xiao-qiang,DAI Xu-han,ZHAO Xiao-lin,DING Gui-fu and CAI Bing-chu.Quantitative Analysis of Thermal Performance of Micro Heat Pipe Based on MEMS[J].Electro-Mechanical Engineering,2005,21(5):15-18. |
| |
| Authors: | XIE Xiao-qiang DAI Xu-han ZHAO Xiao-lin DING Gui-fu and CAI Bing-chu |
| |
| Affiliation: | Key Laboratory for Thin Film and Micro Fabrication Technology of Ministry of Education, Research Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MHP heat transfer thermal resistance |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《电子机械工程》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《电子机械工程》下载全文 |
|
