摘 要: | 一、概述霍尔测试装置是研究半导体材料物理性质的基本实验装置。用它可以测量半导体材料载流子的霍尔迁移率、电阻率、霍尔系数以及这些参数随温度的变化量,从而可以研究半导体材料的导电过程,载流子散射机构;杂质在半导体中的能级位置,禁带宽度等基本物理量,并可对半导体单晶材料的掺杂浓度及补偿度进行测定。此装置是研究半导体材料性能的重要装置。近十余年来,国外这种测试装置发展得比较快。1979年美国凯茨利(Keithley)已有霍尔测试自动装置出售。我们研制的DH82型霍尔测试装置,经有关部门鉴定认为,本装置具有测试精度高、速度快、操作简便、结构合理、实现了数字化、造价低和
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