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基于Copula的MEMS加速度计在振动环境下的可靠性评估
作者姓名:何程  秦丽  于丽霞  王威  秦立君
作者单位:中北大学仪器与电子学院;中北大学信息与通信工程学院
摘    要:将Copula函数理论引入MEMS加速度计的可靠性评估,在考虑零偏和标度因数2个参数相关性的情况下评估MEMS加速度计在振动环境下的可靠性。首先分析了MEMS加速度计在振动环境下的失效机理和失效模式,然后结合实际情况对MEMS加速度计设计了加速退化试验方案,最后对2个退化参数的退化数据进行了相依加速退化可靠性评估。结论证明,综合考虑退化参数的相关性更加切合实际,能得到更精确的结果。

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