寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响 |
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引用本文: | 曲昊,彭倍,彭鹏,周吴,于慧君.寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响[J].仪表技术与传感器,2018(6). |
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作者姓名: | 曲昊 彭倍 彭鹏 周吴 于慧君 |
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作者单位: | 电子科技大学机械电子工程学院 |
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摘 要: | 电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型,分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次,根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况,以及寄生电容对电容检测结果的影响。最后,通过实验验证理论分析的结果。
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