| Si基SiGe光波导开关的研究现状与最新进展 |
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| 引用本文： | 李静,赵玉周,林旭彬,胡巧燕,李章健,陈志文.Si基SiGe光波导开关的研究现状与最新进展[J].半导体光电,2004,25(6):417-422,425. |
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| 作者姓名： | 李静 赵玉周 林旭彬 胡巧燕 李章健 陈志文 |
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| 作者单位： | 中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275;中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275;中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275;中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275;中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275;中山大学,光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术研究项目
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广东省科技厅科技计划
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教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 随着光纤通信技术的迅猛发展,作为光交叉连接和光分插复用核心器件的光开关的作用日益突出.其中Si基光波导开关由于其成本低、可靠性高、器件制作工艺成熟等诸多优点而备受重视.综述了目前Si基光波导开关,特别是SiGe材料光波导开关的研究现状和进展.
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| 关 键 词： | 光开关 SiGe 光波导 等离子体色散效应 |
| 文章编号： | 1001-5868(2004)06-0417-06 |
Recent Progress of Si-based SiGe Optical Waveguide Switches |
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| LI Jing,ZHAO Yu-zhou,LIN Xu-bin,HU Qiao-yan,LI Zhang-jian,CH
EN Zhi-wen.Recent Progress of Si-based SiGe Optical Waveguide Switches[J].Semiconductor Optoelectronics,2004,25(6):417-422,425. |
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| Authors: | LI Jing ZHAO Yu-zhou LIN Xu-bin HU Qiao-yan LI Zhang-jian CH
EN Zhi-wen |
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| Abstract: | With rapid development of fiber-optic communications, the importance of optical switches is becoming increasingly prominent because they serve as one kind of key components for optical cross connect and optical add-drop multiplexer. Especially, Si-based optical waveguide switches are more promising owing to low-cost, high reliability, and very mature fabrication technology. In this paper, the recent progresses of Si-based SiGe optical waveguide switches have been discussed and analyzed. |
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| Keywords: | optical switch SiGe optical waveguide plasma dispersion effect |
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