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可变矩形电子速曝光的模拟

引用本文：	童忠镶,陈建平.可变矩形电子速曝光的模拟[J].电工电能新技术,1989(4):22-29.

作者姓名：	童忠镶陈建平

摘要：
关键词：	电子束曝光图形发生器模拟
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