| 激光剥离技术制备GaN/metal/Si的结构和光学特性研究 |
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| 引用本文： | 王婷,郭霞,方圆,刘斌,沈光地.激光剥离技术制备GaN/metal/Si的结构和光学特性研究[J].功能材料,2007,38(1):88-90. |
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| 作者姓名： | 王婷 郭霞 方圆 刘斌 沈光地 |
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| 作者单位： | 北京理工大学,宇航科学技术学院,北京,100081;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022;北京工业大学,电子信息与控制工程学院,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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北京市教委资助项目
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北京市科委科研项目 |
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| 摘 要： | 采用激光剥离技术结合金属熔融键合技术将生长在蓝宝石衬底上的GaN外延层转移到Si衬底上.GaN和Si表面分别用电子束蒸发Al/Ti/Au和Ti/Au/In后,在氮气环境下200℃加压实现GaN和Si的键合.采用脉冲宽度30 ns、波长248 nm的准分子脉冲激光透过蓝宝石衬底辐照GaN薄膜,在脉冲激光能量密度为380 mJ/cm2的条件下将蓝宝石衬底剥离下来,实现GaN薄膜向Si衬底的转移.样品截面显微镜和扫描电镜(SEM)照片说明经过键合工艺形成了致密的GaN/Al/Ti/Au/In/Au/Ti/Si结构.对转移衬底后的GaN薄膜进行原子力显微镜(AFM)和光致发光谱(PL)测试,结果表明金属熔融键合和激光剥离工艺没有对GaN薄膜的结构和光学特性带来明显的不利影响.
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| 关 键 词： | 激光剥离 GaN 扫描电镜 原子力显微镜 光致发光谱 |
| 文章编号： | 1001-9731(2007)01-0088-03 |
| 修稿时间： | 2006-04-25 |
Structure and optical properties of GaN/metal/Si fabricated by laser lift-off and fusion bonding technique |
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| WANG Ting,GUO Xia,FANG Yuan,LIU Bin,SHEN Guang-di.Structure and optical properties of GaN/metal/Si fabricated by laser lift-off and fusion bonding technique[J].Journal of Functional Materials,2007,38(1):88-90. |
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| Authors: | WANG Ting GUO Xia FANG Yuan LIU Bin SHEN Guang-di |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser lift-off GaN scanning electron microscope atomic force microscope photoluminescence |
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