| 铌酸锂铁电薄膜的制备与表征 |
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| 引用本文： | 杨海波,林营,王芬.铌酸锂铁电薄膜的制备与表征[J].无机盐工业,2007,39(4):20-22. |
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| 作者姓名： | 杨海波 林营 王芬 |
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| 作者单位： | 1. 陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西咸阳,712081;西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室
2. 陕西科技大学材料科学与工程学院,陕西咸阳,712081 |
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| 基金项目： | 陕西科技大学科学研究基金 |
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| 摘 要： | 采用柠檬酸盐法制备铌酸锂铁电薄膜。探讨了柠檬酸（CA）和乙二醇（EG）的用量、pH和水浴温度等工艺参数对溶胶性能的影响。采用XRD和TG—DTA研究了铌酸锂（LiNbO3）晶相的形成过程，用XRD和AFM对所制得薄膜的物相组成和表面形貌进行了表征。结果表明，当前驱体溶胶的pH为7．5，水浴温度大于80℃，n（CA）：n（Li＋Nb）=3：1，n（CA）：n（EG）=1：2时，可以获得稳定性好的溶胶。薄膜经缓慢升温至800℃热处理，可以获得单相、表面光滑、晶粒大小均匀、晶粒大小为70nm的LiNbO3铁电薄膜。
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| 关 键 词： | 铌酸锂 铁电 薄膜 聚合物前驱体 柠檬酸 |
| 文章编号： | 1006-4990（2007）04-0020-03 |
| 收稿时间： | 2007-01-24 |
| 修稿时间： | 2007年1月24日 |
Preparation and characterization of LiNbO3 ferroelectric films |
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| Yang Haibo,Lin Ying,Wang Fen.Preparation and characterization of LiNbO3 ferroelectric films[J].Inorganic Chemicals Industry,2007,39(4):20-22. |
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| Authors: | Yang Haibo Lin Ying Wang Fen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LiNbO3 ferroelectric film polymeric precursor citric acid |
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