| 硅微电容式加速度传感器结构设计 |
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| 引用本文： | 吴英,江永清,温志渝,胡松. 硅微电容式加速度传感器结构设计[J]. 半导体光电, 1999, 0(4): 237-240 |
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| 作者姓名： | 吴英 江永清 温志渝 胡松 |
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| 作者单位： | 重庆大学,光电工程学院,重庆,400044 |
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| 摘 要： | 通过建立传感器的力学模型，对硅微电容式加速度传感器的特性作了详细的分析与讨论，为系统结构的优化设计提供了理论基础。
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| 关 键 词： | 硅微机械 电容式加速度传感器 PWM调制 |
Structure optimization design of silicon micro capacitive accelerometer |
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| WU Ying,JIANG Yong-qing,WEN Zhi-yu,HU Song. Structure optimization design of silicon micro capacitive accelerometer[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1999, 0(4): 237-240 |
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| Authors: | WU Ying JIANG Yong-qing WEN Zhi-yu HU Song |
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| Abstract: | In this paper, the property of silicon micro capacitive accelerometer is analyzed and discussed by establishing the model of sensor, laying the foundation for optimization design of sensor system structure. |
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| Keywords: | silicon micromachine capacitance-type accelerometer PWM modulating |
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