| 基材、添加元素及中间层对DLC膜结构与性能的影响 |
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| 引用本文： | 季红兵,夏立芳,马欣新,孙跃. 基材、添加元素及中间层对DLC膜结构与性能的影响[J]. 金属热处理, 1999, 0(5): 10-13 |
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| 作者姓名： | 季红兵 夏立芳 马欣新 孙跃 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨150001 |
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| 基金项目： | 国防科工委科技攻关项目，， |
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| 摘 要： | 扼要地介绍了基体材料、在ＤＬＣ膜中添加元素及各种中间层对ＤＬＣ膜结构与性能影响的研究现状。
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| 关 键 词： | 基材 中间层 DLC(类金刚石碳)膜 结构 性能 |
| 修稿时间： | 1998-10-21 |
Effect of Substrate Materials,Added Elements and Interlayers on Structure and Properties of DLC Films |
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| Ji Hongbing,Xia Lifang,Ma Xinxin,Sun Yue. Effect of Substrate Materials,Added Elements and Interlayers on Structure and Properties of DLC Films[J]. Heat Treatment of Metals, 1999, 0(5): 10-13 |
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| Authors: | Ji Hongbing Xia Lifang Ma Xinxin Sun Yue |
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| Abstract: | Z Therecentresearchdevelopmentabouteffectofsubstratematerials,addedelementsandvariousinterlayersonstructureandpropertiesofDLCfilmswassummarised. |
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| Keywords: | substratematerials interlayers DLC(DiamondLikeCarbon)films structure properties |
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