| 硅PN结基底TiO2氧传感器的特性研究 |
| |
| 引用本文： | 张辉军,穆长生,王璐.硅PN结基底TiO2氧传感器的特性研究[J].仪器仪表学报,2006,27(Z2):1625-1626. |
| |
| 作者姓名： | 张辉军 穆长生 王璐 |
| |
| 作者单位： | 黑龙江大学集成电路重点实验室,哈尔滨,150080 |
| |
| 基金项目： | 黑龙江省教育厅科学技术研究项目 |
| |
| 摘 要： | 采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法.利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构.基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点.
|
| 关 键 词： | 薄膜 PN结 射频磁控溅射 氧传感器 金红石相 |
Characteristic of TiO2 oxygen sensor with silicon PN-junction substrate |
| |
| Zhang Huijun,Mu Changsheng,Wang Lu.Characteristic of TiO2 oxygen sensor with silicon PN-junction substrate[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2006,27(Z2):1625-1626. |
| |
| Authors: | Zhang Huijun Mu Changsheng Wang Lu |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
