2×8元列阵高温超导探测器研制 |
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引用本文: | 刘心田,石保安.2×8元列阵高温超导探测器研制[J].激光与红外,1997,27(6):358-361. |
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作者姓名: | 刘心田 石保安 |
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作者单位: | 中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室!上海,200083,中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室!上海,200083,中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室!上海,200083,中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室!上海,200083 |
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摘 要: | 选用高Tc超导薄膜YBa2Cu3O7-8,引用半导体集成工艺,制出2×8元列阵红外探测器,其探测率D均达到10^8 ̄10^9cm·Hz^1/2·W^-1,工作温度为89K。
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关 键 词: | 红外探测器 超导体 高温超导探测器 |
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