| 160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制 |
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| 引用本文： | 种明,苏艳梅,张艳冰,胡小燕,马文全,孙永伟,陈良惠.160×128元多量子阱长波红外焦平面探测器件研制[J].红外与激光工程,2007,36(5). |
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| 作者姓名： | 种明 苏艳梅 张艳冰 胡小燕 马文全 孙永伟 陈良惠 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 报道了新研制出的160×128元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面器件.使用MBE的方法在半绝缘的GaAs衬底上生长器件结构;开发了用普通光刻技术和离子束刻蚀法制备2D光栅技术,以及探测器芯片与读出电路互联技术.在77 K时测试,器件的平均峰值探测率D*λ=1.28×1010 cmW-1Hz1/2,峰值波长为λp=8.1μm,截止波长为λc=8.47μm.器件的非盲元率≥98.8%,不均匀性10%.
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| 关 键 词： | 长波红外探测器 量子阱 焦平面阵列 多量子阱 长波 红外焦平面 探测器件 GaAs focal plane arrays infrared photodetector multiple quantum well 不均匀性 盲元 截止波长 峰值波长 峰值探测率 测试 互联技术 读出电路 芯片 光栅技术 法制 离子束刻蚀 |
160×128 focal plane arrays of long-wavelength GaAs/AlGaAs multiple quantum well infrared photodetector |
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| CHONG Ming,SU Yan-mei,ZHANG Yan-bing,HU Xiao-yan,MA Wen-quan,SUN Yong-wei,CHEN Liang-hui.160×128 focal plane arrays of long-wavelength GaAs/AlGaAs multiple quantum well infrared photodetector[J].Infrared and Laser Engineering,2007,36(5). |
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| Authors: | CHONG Ming SU Yan-mei ZHANG Yan-bing HU Xiao-yan MA Wen-quan SUN Yong-wei CHEN Liang-hui |
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