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| 有限元法计算膜厚均匀性 | |
| 引用本文： | 阴晓俊,费书国,等. 有限元法计算膜厚均匀性[J]. 光学仪器, 2001, 23(5): 5-10 |
| 作者姓名： | 阴晓俊 费书国 等 |
| 作者单位： | 沈阳仪器仪表工艺研究所 |
| 摘 要： | 利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法. |
| 关 键 词： | 膜厚均匀性 发射特性 蒸发源的旋转与倾斜 |
| 文章编号： | 1005-5630(2001)5/6-0005-06 |
| 修稿时间： | 2001-08-30 |
Simulating uniformity of film thickness with finite-cells method |
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