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| 基于平面光栅尺的掩模台位置误差分析与验证 | |
| 作者姓名： | 郝春晓 张文涛 王献英 黄逊志 |
| 作者单位： | 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西桂林541004;桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西桂林541004;上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203;上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 测量 平面光栅尺 自由度 误差 校准 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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