| 基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器 |
| |
| 引用本文： | 姜源,江毅,张柳超,王素梅. 基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器[J]. 激光与光电子学进展, 2019, 56(10): 49-53 |
| |
| 作者姓名： | 姜源 江毅 张柳超 王素梅 |
| |
| 作者单位： | 北京理工大学光电学院,北京,100081;北京理工大学激光微纳制造研究所,北京,100081 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 设计了一种基于飞秒激光加工的无膜式光纤气体压力传感器。通过熔接形成了单模光纤-空心光纤-无芯光纤(NCF)结构,熔接结构中的两个熔接面作为反射面,构成一个低精细度的外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)。利用飞秒激光加工结构中的空心光纤部分,烧蚀出一个与外界环境连通的小孔。外界气体压力的变化引起EFPI腔中气体折射率发生变化,通过测量法布里-珀罗腔的光学腔长,得到对应的外界气体压力。实验结果表明,传感器在0~5MPa压力范围内的腔长-压力灵敏度为1.02μm/MPa,传感器的压力分辨率为2.4kPa。该压力传感器具有量程大、灵敏度高、分辨率高和线性度高等优点。
|
| 关 键 词： | 光纤光学 压力传感器 外腔式法布里-珀罗干涉仪 飞秒激光加工 |
Non-Diaphragm Fiber Gas Pressure Sensor Based on Femtosecond Laser Machining |
| |
| Jiang Yuan,Jiang Yi,Zhang Liuchao,Wang Sumei. Non-Diaphragm Fiber Gas Pressure Sensor Based on Femtosecond Laser Machining[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2019, 56(10): 49-53 |
| |
| Authors: | Jiang Yuan Jiang Yi Zhang Liuchao Wang Sumei |
| |
| Affiliation: | (School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China;Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) |
| |
| Abstract: | Jiang Yuan;Jiang Yi;Zhang Liuchao;Wang Sumei(School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China;Laser Micro/Nano Fabrication Laboratory, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) |
| |
| Keywords: | fiber optics pressure sensor extrinsic Fabry-Perot interferometer femtosecond laser machining |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
