电子束曝光机的对准实验研究

在电子束曝光机的对准过程中,我们使用两个闪烁晶体光电倍增管作为背散射电子的探测器,采取增大探测器对散射点的立体角,并选用阴极积分灵敏度高的光电倍增管,以及将x,y方向所取得的信号线性相加等途径,在不要求铬层厚度增加的条件下,将信噪比从3∶1提高到14∶1。