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模块化扫描探针显微镜的研究
引用本文:范细秋,徐龙.模块化扫描探针显微镜的研究[J].工具技术,1998,32(12):32-33.
作者姓名:范细秋  徐龙
作者单位:[1]南理理工学院 [2]华中理工大学
基金项目:国家教委博士点专项基金
摘    要:介绍一种多功能、模块化扫描探针显微镜,它综合了STM、AFM、MFM、FFM等的功能,不仅能检测物质表面微观形貌,还能检测微小静电力、磁力、原子力和摩擦力,具有较好的灵活性和较宽的应用范围。

关 键 词:扫描探针显微镜,多功能,模块化

Research on Modular Scanning Probe Microscope
Fan Xiqiu,et al.Research on Modular Scanning Probe Microscope[J].Tool Engineering(The Magazine for Cutting & Measuring Engineering),1998,32(12):32-33.
Authors:Fan Xiqiu  et al
Affiliation:Fan Xiqiu et al
Abstract:A modular scanning probe microscope(SPM)combining STM,AFM,EFM,MFM and FFM is introduced.The SPM can measure not only topography,but also very small electrostatic,magnetic and friction forces,thus it has the features of flexibility and broad applications.
Keywords:SPM  multifunction  modular
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