| 非晶硅薄膜光谱响应研究 |
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| 引用本文： | 曲鹏程,刘爽,陈逢彬,张尚剑,陈德军,刘永,何存玉,尹潘薇.非晶硅薄膜光谱响应研究[J].半导体光电,2013,34(6):1002-1004. |
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| 作者姓名： | 曲鹏程 刘爽 陈逢彬 张尚剑 陈德军 刘永 何存玉 尹潘薇 |
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| 作者单位： | 电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054;电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054;电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054;电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054;电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054;电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054;成都言伯科技有限公司，成都 610031;成都言伯科技有限公司，成都 610031 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（61177035）；四川省科技项目（2011GZ0003,2012GZ0051）. |
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| 摘 要： | 利用Matlab软件计算了基于本征吸收的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真出由多个不同带隙的薄膜组成的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真了薄膜厚度、光学禁带宽度参数对非晶硅薄膜光谱响应的影响,设计出一种渐变带隙的非晶硅薄膜。结果表明渐变带隙的非晶硅薄膜能有效拓宽薄膜的光谱响应范围,也能提高光谱中对各个波长的响应值。
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| 关 键 词： | 非晶硅薄膜 光谱响应 渐变带隙 |
| 收稿时间： | 2013/4/27 0:00:00 |
Research on Spectral Response of Amorphous Silicon Thin Films |
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| QU Pengcheng;LIU Shuang;CHEN Fengbin;ZHANG Shangjian;CHEN Dejun;LIU Yong;HE Cunyu;YIN Panwei.Research on Spectral Response of Amorphous Silicon Thin Films[J].Semiconductor Optoelectronics,2013,34(6):1002-1004. |
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| Authors: | QU Pengcheng;LIU Shuang;CHEN Fengbin;ZHANG Shangjian;CHEN Dejun;LIU Yong;HE Cunyu;YIN Panwei |
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| Affiliation: | QU Pengcheng;LIU Shuang;CHEN Fengbin;ZHANG Shangjian;CHEN Dejun;LIU Yong;HE Cunyu;YIN Panwei;School of Optoelectronic Information,University of Electronic Science and Technology of China;Chengdu Yanbai Technology Co.,Ltd.; |
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| Abstract: | Using Matlab software to calculate the spectral response of amorphous silicon thin film based on the intrinsic absorption, simulations were carried out on the spectral response of the films composed by a number of amorphous silicon thin films with different band gaps. And an amorphous silicon film with gradient bandgap was designed. Simulation results indicate that the designed silicon thin film can not only effectively broaden the spectral response range, but also improve the response value on the respective wavelengths. |
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| Keywords: | amorphous silicon thin film spectral response graded bandgap |
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