| 基于LTCC的无线无源压力传感器的研究 |
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| 引用本文： | 康昊,谭秋林,秦丽,李晨,丁利琼,张献生.基于LTCC的无线无源压力传感器的研究[J].传感技术学报,2013,26(4):498-501. |
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| 作者姓名： | 康昊 谭秋林 秦丽 李晨 丁利琼 张献生 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51075375) |
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| 摘 要： | 设计了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器,利用传感器谐振频率对不同应变的响应来表征传感器的应变特性,采用互感耦合的方式对传感器的谐振频率进行读取。搭建了压力测试平台,通过对天线特征参数的测试获取传感器的谐振频率,测试结果表明,基于LTCC的无线无源压力传感器的谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,灵敏度约为543.12 kHz/bar。
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| 关 键 词： | 无线无源传感器 压力传感器 互感耦合 LTCC 谐振频率 |
Research on Wireless Passive Pressure Sensor based on LTCC |
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| KANG Hao,TAN Qiuling,QIN Li,LI Chen,DING Liqiong,ZHANG Xiansheng.Research on Wireless Passive Pressure Sensor based on LTCC[J].Journal of Transduction Technology,2013,26(4):498-501. |
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| Authors: | KANG Hao TAN Qiuling QIN Li LI Chen DING Liqiong ZHANG Xiansheng |
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| Affiliation: | 1,2(1.Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory,North University of China,Taiyuan 030051,China; 2.Key Laboratory Instrumentation Science & Dynamic Measurement,Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
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