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摘    要:摩托罗拉半导体用先进相移技术实现0.1微米工艺摩托罗拉半导体日前宣布使用标准0.18微米硅生产处理技术成功地制造了第一个0.1微米的微控制器。该技术突破并解决了半导体工业面临如何设计和生产次波长集成电路的关键问题。摩托罗拉同时宣布与位于美国加利福尼亚的NumenTech(数字技术公司)结成工业界首家次波长设计和生产战略联盟。0.1微米微处理器的制造使用了NumeriTech相移和光近距离校正技术(OPC);并结合了摩托罗拉的先进制造方法。相移和光近距离校正技术成功运

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