| 基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究 |
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| 引用本文： | 肖日松,杜立群,刘冲,刘海军,秦江. 基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究[J]. 高技术通讯, 2006, 16(4): 368-371 |
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| 作者姓名： | 肖日松 杜立群 刘冲 刘海军 秦江 |
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| 作者单位： | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024;大连理工大学微系统研究中心,大连,116024;大连理工大学微系统研究中心,大连,116024 |
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| 摘 要： | 针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅模具和背板生长模具呈54.74°的斜面,且硅模具容易损坏,背板生长模具受应力影响易产生变形;而无背板生长工艺能够获得侧壁垂直、表面细致、使用寿命长的模具,满足结构和精度要求.
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| 关 键 词： | 微型模具 MEMS UV-LIGA 光刻 微电铸 湿法刻蚀 |
| 收稿时间： | 2005-07-04 |
| 修稿时间： | 2005-07-04 |
Research on fabrication of micro-mould based on MEMS technology |
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| Xiao Risong,Du Liqun,Liu Chong,Liu Haijun,Qin Jiang. Research on fabrication of micro-mould based on MEMS technology[J]. High Technology Letters, 2006, 16(4): 368-371 |
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| Authors: | Xiao Risong Du Liqun Liu Chong Liu Haijun Qin Jiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-mould MEMS UV-LIGA lithography micro-electroforming wet etching |
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