| PZT—NiTi铁电—铁弹多层膜的制备及表征 |
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| 引用本文： | 程晋荣,徐东.PZT—NiTi铁电—铁弹多层膜的制备及表征[J].功能材料与器件学报,1999,5(4):255-261. |
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| 作者姓名： | 程晋荣 徐东 |
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| 作者单位： | [1]上海交通大学材料学院 [2]上海交通大学信息存储研究中心 |
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| 基金项目： | 上海市重点自然科学基金，上海市科委青年基金，国家教育部“薄膜与微细技术”开放研究实验室资助 |
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| 摘 要： | 用溶胶－凝胶法制备了ＰＺＴ压电薄膜，研制了Ａｕ／ＰＺＴ／ＰＴ／ＴｉＯ２／ＮｉＴｉ／Ｓｉ（１００）多层膜结构，用ＸＲＤ，ＡＦＭ，ＴＥＭ－ＥＤＸ和ＳＡＤ技术考察了薄膜的表面形貌，相结构演化，以及面的元素分布特性。结果表明：ＰＺＴ膜与ＮｉＴｉ合金膜的结合良好，稳定；ＰＴ层的引入，使无定型ＰＺＴ薄膜在５５０℃退火后，转变为钙钛矿结构，降低了晶化温度，并有效地抑制焦碌石相的形成；ＮｉＴｉ薄膜结晶良好；ＴｉＯ
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| 关 键 词： | PZT－NiTi 多层膜 合成 微结构 介电 铁电性能 |
PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF THE FERROELECTRIC FERROELASTIC PZT-NiTi MULTILAYER FILMS |
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| CHENG Jinrong ,XU Dong ,JIN Chengyu ,MENG Zhongyan.PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF THE FERROELECTRIC FERROELASTIC PZT-NiTi MULTILAYER FILMS[J].Journal of Functional Materials and Devices,1999,5(4):255-261. |
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| Authors: | CHENG Jinrong XU Dong JIN Chengyu MENG Zhongyan |
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| Affiliation: | CHENG Jinrong 1,2,XU Dong 3,JIN Chengyu 2,MENG Zhongyan 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Multilayer thin films of PZT-NiTi Combination Microstructure Dielectric and ferroelectric properties |
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