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| 用弹性反冲法分析薄膜中氢含量 | |
| 作者姓名： | 钱景华 张钰蓉 吴小凤 王维龙 张阿根 张龙兴 神承复 |
| 作者单位： | 复旦大学(钱景华，张钰蓉，吴小凤，王维龙，张阿根，张龙兴)，复旦大学(神承复) |
| 摘 要： | 弹性反冲探测分析法(ERDA)是分析微量氢元素的一种新颖方法。本文介绍用该法分析薄膜中氢含量的方法、原理和初步测量结果,对VYNS膜的测量结果和PIXE法间接分析结果在±10％误差范围内相符。此方法适用于分析厚度为1～10μm的薄样品,灵敏度约为5×10~(15)at./cm~2。 |
| 关 键 词： | 薄膜 氢含量分析 弹性反冲法 弹性反冲截面 |
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