| 温度对电弧离子镀CrN过程等离子体状态及涂层结构和力学性能的影响 |
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| 作者姓名： | 曲帅杰 郭朝乾 杨昭 代明江 林松盛 石倩 苏一凡 韦春贝 唐鹏 |
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| 作者单位： | 1. 中南大学材料科学与工程学院;2. 广东省科学院新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（52101081）；;广东省重点领域研发计划项目（2020B010184001）；;广东省自然科学基金（2021A1515010692）；;广州市科技项目（202007020008,201904010261）； |
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| 摘 要： | 先采用发射光谱法分析了在不同温度下电弧离子镀CrN涂层过程中的等离子体状态，并在假设局部热力学平衡的条件下计算了等离子体密度，用玻尔兹曼作图法计算了等离子体温度。根据Cr靶弧光放电特点选择镀膜工艺，在不同温度下制备了CrN涂层，并研究了其微观结构和力学性能。结果表明：随着温度升高，光谱强度先升高后降低，在350°C下电弧离子镀时等离子体光谱强度、等离子体密度及等离子体温度均最高，所得CrN涂层最致密。450°C时所得CrN涂层的纳米硬度和弹性模量都最高，力学性能最优。
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| 关 键 词： | 氮化铬 电弧离子镀 温度 等离子体 发射光谱 |
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