基于机器视觉的磁控溅射薄膜件的划痕检测

针对目前磁控溅射薄膜件人工检测效率低的问题，结合企业需求，设计了一种基于机器视觉技术的磁控溅射薄膜件划痕自动检测系统，实现对产品表面各种划痕的自动检测。首先对采集到的图像进行校正，利用标准图像创建模板，通过形状模板匹配提取样本图像中感兴趣的区域。然后将图像分解成低频和高频两部分，对低频部分进行先膨胀后腐蚀的操作，对高频部分进行中值滤波以去除噪声，图像合成后通过取反和灰度缩放生成增强图像；最后采用二维Otsu拟合线阈值分割法对图像进行分割，采用选取指定形状特征和骨架提取法对划痕缺陷进行提取和测量。对100件样品进行多次随机验证的结果表明，本文设计的系统能快速、准确、高效地提取并测量划痕缺陷，每个样品检测的平均耗时仅0.25 s，正检率达98.5%。该方案与人工检测比，速度更快、准确度更高，可以满足工业应用的需求。