真空玻璃集热管溅射α-C∶H/Al-N/Al吸收涂层的研究 |
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作者姓名: | 王德荣 林彦奇 战余英 |
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作者单位: | 辽宁省环境保护科学研究所,辽宁,沈阳,110031 |
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摘 要: | 用磁控溅射镀膜技术镀制太阳能集热管的涂层研究结果表明,用单一的铝靶极及氮气、乙炔气体等材料,经直流反应和非反应溅射,在玻璃管上镀制α-C∶H/Al-N/Al选择性吸收涂层,其太阳吸收比αS=0.93~0.94,半球向发射比εh=0.07~0.08,与Al-N/Al选择性吸收涂层相比,反应溅射阶段镀膜时间缩短了59%.
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关 键 词: | 真空集热管 溅射 选择性涂层 |
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