高精度薄膜生产线的水平层流环境营造技术 |
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摘 要: | 汽车反光膜、平板显示器、手机触摸屏等保护膜的制造和加工,其精度、纯度要求很严,通常都在洁净环境中生产。而且,这种洁净环境要求随着产品指标的提高而不断提高。原来在万级条件下的生产环境,现在普遍提高到千级,甚至百级。另一方面,考虑到薄膜生产过程的特殊性,常用的垂直送风形式直接套用,存在着不少弊端,已逐步被更节能、气流更合理的水平层流方式所取代。对此类生产环境的特点,通过成功的水平层流案例,介绍一种已申请实用新型专利的水平层流安装模块。
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