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Air Liquide将为中芯国际深圳晶圆厂供气
摘 要:
中芯国际选择了Air Liquide作为长期气体供应商,为其2010年初投产的深圳200mm和300mm晶圆厂供应气体。Air Liquide将投入1300万美元用于设施改造以满足中芯国际的需求。根据条款,Air Liquide将向中芯国际供应氮气、氧气、氢气、氩气等气体。
关 键 词:
300mm晶圆
国际
深圳
供气
供应商
设施改造
气体
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