新型智能传感器

凡具有一种或多种敏感功能，能够完成信号探测和处理，逻辑判断、双向通讯，自检、自校、自补偿、自诊断和计算等全部或部分功能的器件叫做智能传感器。采用微机械加工技术能够制造出体积小，准确度高，可靠性好的能够制造出体积小、准确高、可靠性好的新型智能传感器。我国智能传感器的研究主要集中在专业研究所和大学中，并已取得较大进展，为智能传感器发展奠定了基础。