电迁徒参数的电流斜坡动态测试 |
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引用本文: | 孙英华,李志国.电迁徒参数的电流斜坡动态测试[J].北京工业大学学报,1996,22(4):31-36. |
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作者姓名: | 孙英华 李志国 |
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作者单位: | 北京工业大学电子工程学系 |
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摘 要: | 采用电流斜波法测试了4种不同金属化样品,其n值分别为2.29(Al-Si合金膜),1.25(Al-Si-Cu合金膜),1.28(Al-Si/Ti双层金属化),1.23(Al/TiWTi/Al多层金属化)结果表明,n值与材料有关,电迁徒阻力越高n值越小,与BLACK方程相符,同时,考察了不同温度和不同电流上升斜率对n值测量结果的影响,试验表明,在相当宽度的温度范围和测试时间内获得n值一致性很好。
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关 键 词: | 半导体器件 可靠性 电迁徒 电流斜坡法 测试 |
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