电迁徒参数的电流斜坡动态测试

采用电流斜波法测试了４种不同金属化样品，其ｎ值分别为２．２９（Ａｌ－Ｓｉ合金膜），１．２５（Ａｌ－Ｓｉ－Ｃｕ合金膜），１．２８（Ａｌ－Ｓｉ／Ｔｉ双层金属化），１．２３（Ａｌ／ＴｉＷＴｉ／Ａｌ多层金属化）结果表明，ｎ值与材料有关，电迁徒阻力越高ｎ值越小，与ＢＬＡＣＫ方程相符，同时，考察了不同温度和不同电流上升斜率对ｎ值测量结果的影响，试验表明，在相当宽度的温度范围和测试时间内获得ｎ值一致性很好。