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| 用软X射线进行无标样定量分析 | |
| 作者姓名： | 元洁 万德全 |
| 作者单位： | 中国科技大学、结构分析开放实验室，中国科技大学、结构分析开放实验室，中国科技大学、结构分析开放实验室，四川大学，北京铀矿研究院，有色金属研究总院 |
| 摘 要： | 目前低压扫描电镜已得到发展,相应地低压电子探针定量分析也需要发展。本文用NBS的Cu—Au合金、GaAs、GaP和InP等标样,对三种商用EDS (EDAX9100,TN5500和Kevex8000)在5～30 kev下的无标样定量分析结果进行了比较,指出了提高低压电子探针定量分析准确性需要解决的问题。 |
| 关 键 词： | X射线 无标样 定量分析 金属材料 |
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