Sol-gel法制备共掺杂ZnO∶Al/N/F薄膜的性能研究

采用溶胶-凝胶法在普通载玻片上旋涂制备出Al、N、F三掺杂Zn O薄膜(Zn O∶Al/N/F),分别研究溶胶浓度和掺杂浓度对薄膜结构、表面形貌以及光电性能的影响。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、可见分光光度计、双电测四探针电阻率测试仪进行测试与分析。结果表明:制备出的Zn O∶Al/N/F薄膜致密均匀,平整光滑,为高结晶质量的(002)C轴择优取向;当溶胶浓度为0.75 mol/L、掺杂浓度为0.90at%时,薄膜在可见光范围内(390~780 nm)的平均透过率可达87.9%,掺杂浓度为1.05at%时电阻率最小,为0.23Ω·cm。