铸锭炉热场对坩埚可靠性影响的机理研究——硅液对于石英坩埚的侵蚀及其与温度、坩埚材质和热场的关系分析

对于多晶硅铸锭过程中的石英坩埚与硅液的高温反应进行化学动力学分析,根据试验数据分别计算出注浆工艺与注凝工艺所形成的石英陶瓷与硅液反应的活化能和指前因子,并由此计算坩埚的侵蚀速率与温度、坩埚材料、铸锭炉热场的关系,提出多晶硅铸锭的最佳温度曲线、最佳坩埚结构和最佳热场结构。