太阳电池生产用管式扩散炉的数值模拟————匀流板对流场的影响

以晶硅电池生产用管式扩散炉的内部流体状况为研究对象,用计算流体力学方法对管式扩散炉进行数学建模及流体力学数值模拟计算;对扩散炉内放置与未放置匀流板的流场状况进行对比研究;分析匀流板对扩散炉内部温度场、速度场、密度梯度场的影响及成因;认为装有匀流板的扩散炉内流体的速度场可给予硅片更为充足的磷源;发现匀流板附近存在着复杂的涡流区,认为该涡流区是决定扩散炉内温度场分布均匀程度的根本原因与关键因素。