钇铝石榴石(YAG)和钆镓石榴石(GGG)外延衬底的超精密制备技术

根据YAG和GGG晶体的性质，研究制订出从晶体外圆滚磨、定向、切割到研磨、抛光及检验的一套工艺方法，其中抛光工序是最关键的工序。为了保证抛光表面精度、质量及抛光效率，将抛光工序分成三步，首先用W0．5金刚石在锡盘上初抛，然后在无纺抛光布上细抛，最后用胶体软磨料抛光液在无纺抛光布上精抛。被抛光表面粗糙度Ra≤8nm，经腐蚀法及外延生长检验表面无缺陷和损伤。