|
|||||
|
|
| 硼铸铁缸套激光椭圆微坑加工工艺研究 | |
| 引用本文： | 冯琪渊,刘国东,黎相孟,丁帅帅,程浩田.硼铸铁缸套激光椭圆微坑加工工艺研究[J].应用激光,2021(1):28-34. |
| 作者姓名： | 冯琪渊 刘国东 黎相孟 丁帅帅 程浩田 |
| 摘 要： | 采用纳秒脉冲激光器在硼铸铁缸套平面切片进行椭圆微坑阵列加工,研究填充加工方式和工艺参数对椭圆微坑表面形貌的影响规律.结果表明:环形填充较其他三种加工方式能得到更好的表面形貌.微坑长径截面最大深度和微坑长径截面面积随填充线宽减小而增大,最大深度达到218 μm.填充线宽大于等于3 μm,微坑底部熔融物质明显减少.扫描速度... |
| 关 键 词： | 激光刻蚀 椭圆微坑 填充加工 工艺参数 微观形貌 |