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| Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析 | |
| 作者姓名： | 杨帆 费维栋 高忠民 蒋建清 |
| 作者单位： | 1. 东南大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211189;哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001 2. 哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001 3. 吉林大学,化学学院,吉林,长春,130012 4. 东南大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211189 |
| 摘 要： | 根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布. |
| 关 键 词： | Pb(Zr,Ti)O3薄膜 X射线二维衍射 多晶面探衍射仪 残余应力 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）07-1097-05 |
| 修稿时间： | 2007-01-242007-04-10 |
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