| Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用 |
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| 引用本文： | 何华云,林伯奇,胡晓宇.Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用[J].电子工业专用设备,2014,43(12). |
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| 作者姓名： | 何华云 林伯奇 胡晓宇 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙,410111 |
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| 摘 要： | 介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。
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| 关 键 词： | Modbus TCP 高温MOCVD 以太网通信协议 |
The application of Modbus TCP protocol in HT-MOCVD controlling system |
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| HE Hua-yun,LIN Bo-qi,HU Xiao-yu.The application of Modbus TCP protocol in HT-MOCVD controlling system[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2014,43(12). |
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| Authors: | HE Hua-yun LIN Bo-qi HU Xiao-yu |
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