| 表面覆铪改善碳纳米管膜发射性能 |
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| 引用本文： | 张继华,王永进,冯涛,于伟东,王曦,杨传仁.表面覆铪改善碳纳米管膜发射性能[J].功能材料,2006,37(4):624-626. |
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| 作者姓名： | 张继华 王永进 冯涛 于伟东 王曦 杨传仁 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 摘 要： | 研究了表面沉积铪膜并进行后处理对碳纳米管膜场电子发射性能的影响.研究结果表明在适当的退火温度下碳纳米管表面形成了碳化铪,并显著提高了碳纳米管的发射电流密度、发射均匀性和发射稳定性.我们认为碳纳米管表面发射性能的提高归功于表面碳化铪膜良好的导电性、化学惰性和低逸出功.
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| 关 键 词： | 碳纳米管 场发射 碳化铪 薄膜 |
| 文章编号： | 1001-9731(2006)04-0624-03 |
| 收稿时间： | 2005-07-26 |
| 修稿时间： | 2005-12-22 |
Improved field emission of carbon nanotubes by hafnium coating |
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| ZHANG Ji-hua,WANG Yong-jin,FENG Tao,YU Wei-dong,WANG Xi,YANG Chuan-ren.Improved field emission of carbon nanotubes by hafnium coating[J].Journal of Functional Materials,2006,37(4):624-626. |
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| Authors: | ZHANG Ji-hua WANG Yong-jin FENG Tao YU Wei-dong WANG Xi YANG Chuan-ren |
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| Affiliation: | 1. Institute of Microelectronics and Solid State Electronics, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054,China; 2. Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences,Shanghai 20005, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | carbon nanotubes field emission hafnium carbide thin films |
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