| PLZT（28／0／100）薄膜的溶胶—凝胶制备技术及显微结构 |
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| 引用本文： | 陈志雄,唐大海,刘梅冬,王培英,吴国安,丁军勇. PLZT（28／0／100）薄膜的溶胶—凝胶制备技术及显微结构[J]. 材料研究学报, 1995, 9(1): 76-80 |
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| 作者姓名： | 陈志雄 唐大海 刘梅冬 王培英 吴国安 丁军勇 |
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| 作者单位： | 广州师范学院物理系,华中理工大学固体电子学系 |
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| 摘 要： | 用溶胶—凝胶技术及回旋法,在石英玻璃和单晶si基片上制备PLZT(28/0/100)多晶薄膜;在SrTiO3和α-A12O3单晶基片上外延生长择优取向薄膜.其外延关系分别为(100)PLZT(28/0/100)//(100)SrTiO3和(100)PLZT(28/0/100)//(0001)Al2O3.用IR,XRD.RHEED,SEM和SIMS分析凝胶中杂质、凝胶的分子结构和薄膜的显微结构.结果表明,用溶胶—凝胶技术能制备出显微结构良好的多组份陶瓷薄膜.
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶 PLZT薄膜 外延生长 显微结构 |
| 收稿时间： | 1995-02-25 |
| 修稿时间： | 1995-02-25 |
SOL-GEL PREPARATION TECHNIQUE AND MICROSTRUCTURE OF PLZT(28 / 0 / 100) THIN FILMS |
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| CHEN Zhixiong,TANG DahaiLIU Meidong,WANG Peiying,WU Guoan,DING Junyong. SOL-GEL PREPARATION TECHNIQUE AND MICROSTRUCTURE OF PLZT(28 / 0 / 100) THIN FILMS[J]. Chinese Journal of Materials Research, 1995, 9(1): 76-80 |
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| Authors: | CHEN Zhixiong TANG DahaiLIU Meidong WANG Peiying WU Guoan DING Junyong |
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| Affiliation: | CHEN Zhixiong,TANG Dahai(Guangzhou Teachers' College)LIU Meidong,WANG Peiying,WU Guoan,DING Junyong(Huazhong University of Science and Technology)(Corresdpondent: CHEN Zhixiiong,Professor,Physics Department,Guangzhou Teachers' College,Guangzhou ) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel PLZT thin film epitaxial growth microstructure |
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